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Mitgliedstaat System für thermische Desorptions-Studien UHV

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Hidens TPD-Arbeitsplatz stellt eine vielseitige Plattform für genau kontrollierte thermische Desorptionsstudien (TDS) im UHV-Druckregime durch eine Temperaturspanne von 50 C zu C. 1000 zur Verfügung.

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Allgemeine Anwendungen umfassen Desorptionsstudien von Siliziumscheiben und von Dünnfilmbeschichtungen, Quantifikation der Wasserstoffentwicklung von den Metallen. Das Beispielstadium, mit der Temperaturrampe, die mit Rate bis 40 C pro Minute völlig programmierbar ist, wird durch eine inkorporierende Wassererkühlung des Hitzeschildes eingehüllt, um Outgassing und kühle Abstiegrate der Zwischenprobe herabzusetzen. Schnelles Beispielladen und -extraktion wird über den UHV-Schleuse- und Beispielübergangsmechanismus ermöglicht und behält optimale Primärvakuumqualität bei. Proben, gewöhnlich in der Oblatenform, sitzen positiv auf dem Beispielstadium, um leistungsfähigen Thermokontakt mit der Heizungsoberfläche sicherzustellen. Das Quadrupol-Massenspektrometer, auch mit wassergekühlter Jacke, wird mit der Annahmeöffnung nah an der Beispieloberfläche für optimale Gefangennahme von entwickelten Gasen angebracht. Beispieltemperatur wird direkt mit dem weichen Steuer- und Erwerbsprogramm für kombinierte Darstellung von mehrfachen entwickelten Spezies mit Temperatur geverschmolzen.